ОписаниеФинальная проверка панелей для продвинутых IC-подложек и HDI с ультра-тонкими линиями; минимальная обнаруживаемая линия/шаг — 10 µm. Galaxy Fi 10Cχ, панельная система финальной инспекции от CIMS, оснащена высокоразрешающей цветной камерой и оптимизированной оптикой для максимального контраста на панелях с лаковым маскированием и различными металлическими покрытиями. Система обеспечивает надёжное обнаружение дефектов на лужёной меди, золочёных или OTC покрытиях, лаковом маскировании и открытом ламинате.
Основные преимущества- Линейные моторы для плавного и бесшумного перемещения
- Прочная механическая конструкция
- Автоматический вакуумный стол для безопасной обработки
- Высокопроизводительная прошивка для обработки изображений
- Компьютер следующего поколения для обработки больших объёмов данных
- Быстрая и интуитивная настройка новых заданий
- Совместимость с фронт/бек AMHS автоматизацией или роботом
Опции- 2DM™ metrology – измерение размеров панели
- 2CD™ metrology – 2D-измерение элементов схемы
- 3DH™ metrology – 3D-измерение высоты элементов схемы
- 3DP™ metrology – 3D-профилирование элементов схемы
- CDB™/CDBIC™ – классификация дефектов и виртуальная карта дефектов
- X-WAVE™ – многоволновое освещение
Технические характеристики- Семейство продуктов: Galaxy Fi series (системы финальной инспекции)
- Модель: Galaxy Fi 10Cχ
- Применение: финальная проверка панелей для продвинутых IC-подложек и HDI с ультра-тонкими линиями
- Минимальная обнаруживаемая линия/шаг: 10 µm
- Камера: цветная камера с высокоразрешающим захватом изображения
- Оптика: максимизированный контраст на лаковом маскировании; поддержка лужёной меди, золочёных или OTC покрытий, лаков и открытого ламината
- Движок обнаружения: Spark™ 3.0 (кросс-платформенный движок обнаружения)
- Привод: линейные моторы для плавного и бесшумного движения
- Механика: прочная механическая структура
- Обработка: автоматический вакуумный стол
- Процессинг: компьютер следующего поколения для больших данных; высокопроизводительная прошивка обработки изображений
- Юзабилити: быстрая и интуитивная настройка новых заданий
- Совместимость с автоматизацией: совместимо с фронт/бек AMHS или роботом
- Доступные опции метрологии: 2DM™, 2CD™, 3DH™, 3DP™
- Доступные опции инспекции/анализа: CDB™/CDBIC™; X-WAVE™