Оптическая система контроля Galaxy Fi 5Cχ

с камеройавтоматизированнаядля поверхности

Описание
Финальная инспекция панелей для высокотехнологичных IC-подложек и HDI с ультратонкими линиями; минимальная способность инспекции линия/зазор до 5 µm. Galaxy Fi 5Cχ, новейшая панельная система финальной инспекции от CIMS, разработана для поддержки финальной инспекции продвинутых IC-подложек и HDI с ультратонкими линиями. Оснащена цветной камерой и способна сканировать технологию с шириной линия/зазор до 5 µm.
Передовая оптическая технология системы для финальной инспекции обеспечивает максимальную контрастность на панелях, покрытых паяльной маской, и произведённых с различными металлизационными процессами. Эта технология поддерживает получение высокоразрешающих изображений и обеспечивает надёжное обнаружение дефектов на лужёной меди, позолоте/OTC, паяльной маске и голом ламинате.
Оснащённая современными средствами захвата изображений и расширенными возможностями программного обеспечения, линейка Galaxy известна исключительным обнаружением при максимально низком уровне ложных срабатываний. Galaxy Fi 5Cχ работает на базе Spark™ 3.0 — инновационного кроссплатформенного движка обнаружения.

Основные характеристики

• Линейные двигатели для плавного и бесшумного перемещения
• Прочная механическая конструкция
• Автоматизированный вакуумный стол
• Прошивка для обработки изображений высокой производительности
• Компьютер нового поколения для обработки больших объёмов данных
• Быстрая и интуитивная настройка новых задач
• Совместимость с автоматизацией AMHS спереди/сзади или роботами

Опции

• +2DM™ метрология – измерение размеров панели
• +2CD™ метрология – 2D-измерение элементов схемы
• +3DH™ метрология – 3D-измерения высоты элементов схемы
• +3DP™ метрология – 3D-профилирование элементов схемы
• CDB™/CDBIC™ – классификация дефектов и виртуальное картирование дефектов
• X-WAVE™ – многоволновое освещение

Технические характеристики

• Минимальная способность инспекции линия/зазор: 5 µm
• Изображение: цветная камера, высокоразрешающая съёмка
• Оптическая технология оптимизирована для паяльной маски, лужёной меди, позолоты/OTC и голого ламината
• Движок обнаружения: Spark™ 3.0 кроссплатформенный движок обнаружения
• Движение: линейные двигатели для плавного и бесшумного перемещения
• Механика: прочная конструкция с автоматизированным вакуумным столом
• Обработка: прошивка для обработки изображений высокой производительности и компьютер нового поколения для больших данных
• Удобство: быстрая и интуитивная настройка задач
• Автоматизация: совместимость с AMHS автоматизацией спереди/сзади или роботами
• Доступные опции метрологии и анализа: +2DM™, +2CD™, +3DH™, +3DP™, CDB™/CDBIC™, X-WAVE™