ОписаниеГибридная AOI станция верификации для подложек ИС с поддержкой минимальной линии/шага до 4 мкм. VVR объединяет виртуальную верификацию (послеобработанные изображения AOI) и режим живого видео в одной рабочей станции, спроектированной для крупносерийного производства подложек ИС. Серии: VVR 4μ, VVR 5μ, VVR 7μ, VVR 10μ, VVR 15μ.
Ключевые преимущества- Комбинированная верификация постобработанных AOI-изображений и живого видео
- Увеличение эффективности верификации до 70% по сравнению с традиционными режимами
- Отображение постобработанных цветных изображений дефектов, полученных напрямую с AOI
- Переменное увеличение и автоматическая калибровка для воспроизводимых инспекций
- Стационарный вакуумный стол для надежной фиксации подложки
- Эргономичный дизайн рабочей станции
- Четкое изображение дефектов и регулируемое видеоосвещение
Опции- Auto-marker для автоматической маркировки дефектов
- Сканер штрих-кодов для трассируемости
- Регулируемый кронштейн монитора
- CDB™/CDBIC™ — классификация дефектов и виртуальное картирование дефектов
- SharpLight™ — улучшенная обработка видеоизображения
- Опциональный сенсорный экран для классификации оператором и передачи обратной связи QA в реальном времени
Характеристики / технические спецификации- Тип продукта: гибридная AOI станция верификации для подложек ИС
- Минимальная поддерживаемая линия/шаг: до 4 мкм
- Серийные модели: VVR 4μ, VVR 5μ, VVR 7μ, VVR 10μ, VVR 15μ
- Режимы верификации: виртуальная верификация (послеобработанные изображения AOI) и режим живого видео
- Обработка изображений: передовые алгоритмы улучшения изображения; постобработанные цветные изображения дефектов
- Повышение эффективности: до 70% по сравнению с традиционной верификацией
- Оптика/функции: переменное увеличение, автоматическая калибровка, регулируемое видеосвето, опция SharpLight™
- Механика: стационарный вакуумный стол, эргономичный дизайн, регулируемый кронштейн монитора (опция)
- Трассируемость/маркировка: опция Auto-marker, опция сканера штрих-кодов
- Программное обеспечение/опции: CDB™/CDBIC™ для классификации дефектов и виртуального картирования
- Интеграция: совместима со всеми AOI-системами CIMS