Описание продуктаPhoenix PT/Micro от CIMS — AOI-система, разработанная для инспекции фотоинструментов с ультратонкими линиями, таких как фоторисунки на плёнке и стеклянные маски. Способна обнаруживать линии/пробелы шириной до 7 µm. Поскольку маски проверяются в проходящем свете, система использует оптимизированную для проверки масок схему проходящего освещения, обеспечивая надёжное обнаружение дефектов, которые в противном случае могли бы быть перенесены на панели. Оптимальная производительность достигается сочетанием высококачественного захвата изображений, настраиваемых алгоритмов обнаружения и передовой прошивки обработки. Phoenix PT/Micro работает на Spark™ — кроссплатформенном движке обнаружения, обеспечивающем высокую детектируемость при минимальном количестве ложных срабатываний.
Ключевые особенности- Прозрачный или матовый стеклянный стол
- Совместимость с широким диапазоном рам
- Подходит для стеклянных масок и фоторисунков на плёнке
- Прочная механическая конструкция
- Эргономичный дизайн для оператора
- Высокопроизводительная прошивка обработки изображений
- Мощные процессоры для обработки больших объёмов данных
- Быстрая и интуитивная настройка новых задач
Опции- Несколько размеров рам для стеклянных масок
- Универсальный адаптер рам
- Интегрированный трекер высоты
- +2CD™ метрология — 2D-измерение элементов схемы
- CDB™/CDBIC™ — классификация дефектов и виртуальная картография дефектов
Технические характеристики- Модель: Phoenix PT/Micro
- Применение: AOI для фотоинструментов с ультратонкими линиями (фоторисунки на плёнке и стеклянные маски)
- Минимальная обнаруживаемая линия/пробел: до 7 µm
- Освещение: проходящий световой путь, оптимизированный для инспекции масок
- Движок обнаружения: Spark™ кроссплатформенный движок обнаружения
- Захват изображений: современная система высококачественного захвата изображений
- Программное обеспечение: настраиваемые алгоритмы обнаружения, передовая прошивка обработки
- Механика: прочная конструкция, эргономичный дизайн, совместимость с несколькими размерами рам
- Опциональная метрология и классификация: +2CD™ метрология, CDB™/CDBIC™