Описание продуктаСтанция верификации AOI с использованием ИИ, объединяющая виртуальную и физическую проверку в одном рабочем месте. AIVR 7μ разработана для крупносерийного производства подложек ИС и оптимизирована для верификации линий/пространств 7–25 мкм. В режиме AIVR оператор просматривает изображения дефектов, захваченные AOI и улучшенные ИИ-алгоритмами, что позволяет быстро отсеивать явные ложные срабатывания и приоритизировать реальные дефекты. Система интегрирует результаты с производственной базой данных и поддерживает классификацию оператором через опциональный сенсорный экран для оперативной обратной связи по QA. Совместима со всеми AOI CIMS.
Ключевые особенности- Совмещает верификацию пост-обработанных AOI изображений и режим «живого» видео
- До 90% повышение эффективности верификации по сравнению с традиционным режимом
- Отображает ИИ-улучшенные цветные изображения дефектов высокого разрешения, полученные напрямую из AOI
- Переменное увеличение и автоматическая калибровка
- Стационарный вакуумный стол для стабильной фиксации
- Эргономичный дизайн рабочей станции
- Четкое изображение дефектов и регулируемое видеоосвещение
Опции- Автомаркер для пометки дефектов
- Сканер штрихкодов
- Регулируемый кронштейн для монитора
- CDB™/CDBIC™ — классификация дефектов и виртуальная картография дефектов
- SharpLight™ — улучшение видеоизображения
Совместимость и эксплуатацияРаботает как верификационная станция, интегрируемая с AOI-системами. ИИ-базированное улучшение изображений помогает быстро отфильтровывать ложные срабатывания и поддерживает рабочие процессы классификации. Опциональный сенсорный экран позволяет оператору классифицировать дефекты и сразу же отправлять обратную связь в QA; результаты интегрируются с производственной базой данных.
Технические характеристики- Наименование модели: AIVR 7μ
- Применение: AOI-верификационная станция для подложек ИС
- Поддерживаемая технология линий/пространств: оптимизировано для 7–25 мкм, минимум 7 мкм
- Режимы верификации: верификация пост-обработанных AOI изображений и режим живого видео
- Особенности изображений: ИИ-улучшенные цветные изображения дефектов высокого разрешения
- Оптика/управление: переменное увеличение, автоматическая калибровка, регулируемое видеоосвещение
- Механика: стационарный вакуумный стол, эргономичный дизайн
- Интеграция: совместима со всеми AOI CIMS; результаты интегрируются с базой данных
- Опциональные модули: автомаркер, сканер штрихкодов, регулируемый кронштейн монитора, CDB™/CDBIC™, SharpLight™