Оптическая система контроля Galaxy 5Cχ

с камеройавтоматическаядля выявления неисправностей

Описание
Автоматическая оптическая инспекция (AOI) для подложек ИС. Galaxy 5Cχ поддерживает минимальную технологию линия/шаг до 5 µm. Разработан для высокообъемного производства, сочетает высокоразрешающую цветную съёмку с передовой оптикой и движком детекции для выявления дефектов процесса и сборки на современных подложках.

Ключевые возможности

• Инспекция до 5 µm линия/шаг для передовых технологий подложек ИС
• Высокопрозрачная цветная камера для улучшенного распознавания элементов
• Оптическая технология Prisma™ Gen II для гибкого освещения и максимального контраста
• Движок обнаружения Spark™ 3.0 кросс‑платформенный с настраиваемыми алгоритмами
• Оптимальный баланс между разрешением и скоростью сканирования для высокого пропускного потока

Особенности

• Линейные двигатели для плавного и тихого перемещения
• Компактная механическая платформа для интеграции на производстве
• Аппаратное обеспечение 6-го поколения для повышенной производительности и надежности
• Улучшенный блок подсветки с опцией многоволнового освещения X-WAVE™
• Быстрая и интуитивная настройка задач для сокращения времени переналадки
• Совместимость с фронтальной автоматизацией AMHS или роботизированной подачей

Опции

• Fi™ — опция финальной инспекции для готовых плат
• +2DM™ метрология — измерение размеров панели
• +2CD™ метрология — 2D‑измерение элементов схемы
• +3DH™ метрология — 3D‑измерение высоты элементов схемы
• +3DP™ метрология — 3D‑профилирование элементов схемы
• LDI™ — опция инспекции лазерного сверления
• CDB™ / CDBIC™ — классификация дефектов и виртуальная карта дефектов
• VVS™ — система виртуальной верификации
• X-WAVE™ — опция многоволнового освещения

Технические характеристики

• Применение: автоматизированная оптическая инспекция (AOI) для подложек ИС
• Минимальная способность линия/шаг: 5 µm
• Камера: высокоразрешающая цветная камера
• Оптическая технология: Prisma™ Gen II (гибкое освещение, высокий контраст)
• Движок обнаружения: Spark™ 3.0 (кросс‑платформенный, настраиваемые алгоритмы)
• Система движения: линейные двигатели для плавного, тихого перемещения
• Механический дизайн: компактная платформа, подходящая для интеграции
• Аппаратное поколение: 6‑е поколение аппаратуры
• Подсветка: улучшенный блок подсветки; X-WAVE™ опционально
• Опции метрологии: +2DM™, +2CD™, +3DH™, +3DP™
• Дополнительные опции: Fi™, LDI™, CDB™/CDBIC™, VVS™
• Совместимость с автоматизацией: совместим с фронтальной AMHS автоматизацией или роботизированной подачей