Оптическая система контроля SVS 4μ

с помощью видеосистемы технического зренияс камеройавтоматизированная

Описание
SVS 4μ — AVI станция верификации для подложек ИС, разработанная для проверки полос, отсканированных AVI-системами. На базе Sprint™, станция оптимизирована для технологий с шириной линий/пальцев от 4 µm до 8 µm. Система подсветки сочетает отражающий/коаксиальный канал с тремя отдельными диффузными каналами для максимального контраста на золотых поверхностях и паяльной маске. Оптическая схема поддерживает маркировку дефектов или списание дефектных единиц. Прочная механика и промышленное оборудование обеспечивают высокий пропуск и надежную работу. Пользовательский интерфейс эргономичен и требует минимального обучения. SVS 4μ полностью совместима с CDB™ и CDBIC™ и может работать с AVI-системами CIMS, а также с лазерными маркировочными машинами третьих сторон.

Ключевые особенности

• Гибкие конфигурации видеоосвещения
• Автоматическая калибровка материалов
• Стационарный вакуумный стол для стабильной обработки
• Эргономичный дизайн оператора
• Оптимизированное перемещение «дефект–к–дефект» для пропускной способности
• Четкое изображение дефекта с регулируемой видео-подсветкой

Опции

• Считыватель штрихкодов
• Регулируемая позиция монитора
• CDB™/CDBIC™ — классификация дефектов и виртуальное картирование дефектов

Технические характеристики

• Минимальная ширина линии/пальца: 4 µm (оптимизировано для 4–8 µm)
• Подсветка: отражающий/коаксиальный световой канал плюс три отдельных диффузных канала
• Оптика: поддерживает маркировку дефектов или списание дефектных единиц
• Механика и оборудование: промышленная конструкция для высокой пропускной способности и надежности
• Пользовательский интерфейс: эргономичный, удобный, требуется минимальное обучение
• Совместимость: совместимо с AVI-системами CIMS и лазерными маркировочными машинами третьих сторон; полностью совместимо с CDB™ и CDBIC™