Оптическая система контроля SVS 8μ

с помощью видеосистемы технического зренияс камеройавтоматизированная

Описание
SVS 8μ CIMS — это станция верификации AVI для IC-подложек, предназначенная для проверки полос, отсканированных AVI-системами, с минимальным разрешением линий/пальцев до 8 мкм. Под управлением Sprint™ станция оптимизирована для технологий с шириной линий/пальцев 8–12 мкм, обеспечивает точную обработку дефектов и высокий пропускной поток.

Оптика и освещение
Система сочетает отражающий/коаксиальный световой канал с тремя отдельными диффузными каналами для максимизации контраста на золотых поверхностях и паяльной маске. Оптика обеспечивает чёткое изображение дефекта и облегчает маркировку или утилизацию бракованных единиц. Надёжная механика и промышленное оборудование гарантируют стабильную работу.

Удобство и совместимость
SVS 8μ оснащена эргономичным интерфейсом, требующим минимального обучения оператора. Полностью совместима с CDB™ и CDBIC™ для управления данными по дефектам и бракованным единицам, а также совместима со всеми AVI-системами CIMS и лазерными маркировочными системами сторонних производителей.

Основные характеристики

• Гибкие конфигурации видеосвета
• Автоматическая калибровка материала
• Стационарный вакуумный стол
• Эргономичный дизайн для комфортной работы оператора
• Оптимизированные перемещения дефект–дефект для повышения пропускной способности
• Чёткое изображение дефекта с регулируемым видеосветом

Опции

• Сканер штрих-кодов
• Регулируемое положение монитора
• CDB™/CDBIC™ — классификация дефектов и виртуальная карта дефектов

Технические характеристики

• Модель: SVS 8μ
• Brand: CIMS
• Применение: станция верификации AVI для IC-подложек
• Минимальное разрешение линий/пальцев: до 8 мкм
• Оптимизировано для ширины линий/пальцев: 8–12 мкм
• Освещение: отражающий/коаксиальный канал плюс три диффузных канала
• Оптика: разработана для высокого контраста на золотых поверхностях и паяльной маске
• Обработка дефектов: маркировка или утилизация бракованных единиц
• Механика и оборудование: надёжная механика и промышленное оборудование для высокого пропускного потока
• Интерфейс: эргономичный, требуется минимальное обучение
• Совместимость: совместима с AVI-системами CIMS и лазерными маркировочными системами сторонних производителей
• Управление данными: совместима с CDB™ и CDBIC™
• Опциональные функции: сканер штрих-кодов; регулируемое положение монитора; классификация дефектов и виртуальная карта дефектов
• Особые функции: автоматическая калибровка материала; стационарный вакуумный стол; оптимизированные перемещения дефект–дефект; регулируемый видеосвет
• Программное обеспечение: под управлением Sprint™