ОписаниеAIVR — это CIMS-станция верификации на базе ИИ, объединяющая виртуальную и физическую верификацию в одной рабочей станции. CIMS AIVR 5μ разработана для поддержки крупносерийного производства IC-подложек и оптимизирована для верификации технологий с линией/шагом 5–25 мкм. В режиме AIVR оператор просматривает изображения дефектов, полученные AOI и обработанные алгоритмами улучшения изображения на основе ИИ, что позволяет быстро отсеивать очевидные ложные срабатывания. Применение AIVR повышает эффективность и скорость верификации и интегрирует результаты с производственной базой данных. Опциональный сенсорный экран обеспечивает быструю классификацию дефектов и обратную связь QA в реальном времени. AIVR 5μ совместима со всеми AOI CIMS.
Основные характеристики- Объединяет верификацию постобработанных AOI-изображений с режимом живого видео
- До 90% увеличения эффективности верификации по сравнению с традиционным режимом
- Отображение улучшенных ИИ высокоразрешающих цветных изображений дефектов, получаемых непосредственно с AOI
- Переменный зум и автоматическая калибровка
- Стационарный вакуумный стол
- Эргономичный дизайн
- Четкое изображение дефекта с регулируемой видеоподсветкой
Опции- Автомаркер для маркировки дефектов
- Считыватель штрих-кодов
- Регулируемый кронштейн монитора
- CDB™/CDBIC™ – классификация дефектов и виртуальное картирование дефектов
- SharpLight™ – улучшенное видеоизображение
Технические характеристики- Модель: AIVR 5μ
- Применение: станция верификации AOI на базе ИИ для IC-подложек
- Поддерживаемая технология линия/шаг: 5–25 мкм
- Режимы верификации: виртуальная и физическая верификация в одной станции; постобработанные AOI-изображения и живое видео
- Функции: улучшение изображения на основе ИИ, переменный зум, автоматическая калибровка, стационарный вакуумный стол, эргономичный дизайн, регулируемая видеоподсветка
- Совместимость: Совместима со всеми AOI CIMS
- Опциональный сенсорный экран для классификации дефектов и обратной связи QA в реальном времени
- Опции: Автомаркер, Считыватель штрих-кодов, Регулируемый кронштейн монитора, CDB™/CDBIC™, SharpLight™