Цифровая система контроля AIVR 4μ

с помощью видеосистемы технического зренияс камеройИИ

Описание
AIVR — верификационная станция CIMS с поддержкой ИИ, объединяющая виртуальную и физическую проверку в одной рабочей станции. AIVR 4μ разработана для крупносерийного производства подложек ИС и оптимизирована для верификации технологии 4–15 µm линия/пространство. В режиме AIVR оператор просматривает изображения дефектов, захваченные AOI и обработанные алгоритмами улучшения изображения на базе ИИ, что позволяет быстро отсеивать очевидные ложные срабатывания. Применение AIVR заметно повышает эффективность и скорость верификации и обеспечивает бесшовную интеграцию результатов в базу данных. Опциональный сенсорный экран позволяет классифицировать дефекты и передавать обратную связь QA в реальном времени. AIVR 4μ совместима со всеми AOI CIMS.

Основные преимущества

• Объединяет верификацию изображений AOI после обработки и режим живого видео
• До 90% повышения эффективности верификации по сравнению с традиционным режимом
• Отображение улучшенных ИИ высокоразрешающих цветных изображений дефектов, захваченных непосредственно с AOI
• Переменное увеличение и автоматическая калибровка
• Стационарный вакуумный стол
• Эргономичный дизайн
• Четкое изображение дефекта и регулируемое видеосвет

Опции

• Авто-маркер для маркировки дефектов
• Сканер штрих-кодов
• Регулируемый кронштейн монитора
• CDB™/CDBIC™ – классификация дефектов и виртуальная картография дефектов
• SharpLight™ – улучшенное видеоизображение

Технические характеристики

• Семейство / серия продукта: AIVR
• Производитель / Бренд: CIMS
• Целевая область применения: AOI-станция верификации для подложек ИС
• Поддерживаемая верификация линия/пространство: оптимизировано для 4–15 µm
• Режимы верификации: виртуальный (AOI после обработки) и живое видео
• Улучшение изображения: алгоритмы на базе ИИ, ИИ-улучшенные высокоразрешающие цветные изображения дефектов
• Увеличение эффективности: до 90% повышения по сравнению с традиционным режимом
• Взаимодействие с пользователем: рабочий процесс обзора оператором, опциональный сенсорный экран для классификации дефектов и QA-обратной связи
• Интеграция: результаты интегрируются с базой данных
• Оптика / механика: переменное увеличение, автоматическая калибровка, регулируемое видеосвет
• Особенности рабочей станции: стационарный вакуумный стол, эргономичный дизайн
• Доступные опциональные модули: авто-маркер, сканер штрих-кодов, регулируемый кронштейн монитора, CDB™/CDBIC™, SharpLight™
• Совместимость: совместима со всеми AOI CIMS