ОписаниеSVS 5μ — это станция верификации CIMS AVI, работающая на Sprint™, предназначенная для верификации полосок IC-подложек, отсканированных AVI-системами. Оптимизирована для проверки ширины линий/пальцев 5–8 µm и обеспечивает точную верификацию и маркировку.
Основные характеристики- Гибкие конфигурации видеоподсветки (рефлекторный/коаксиальный канал плюс три диффузных канала)
- Автоматическая калибровка материала
- Стационарный вакуумный стол для стабильной фиксации
- Эргономичная компоновка рабочего места
- Оптимизированные перемещения дефект‑к‑дефекту для производительности
- Четкое изображение дефекта с регулируемой видеоподсветкой
Опции- Сканер штрихкодов
- Регулируемая позиция монитора
- CDB™ / CDBIC™ для классификации дефектов и виртуального картирования дефектов
Технические характеристики- Применение: верификация AVI для полосок IC-подложек
- Оптимизированная технология: верификация ширины линий/пальцев 5–8 µm
- Подсветка: рефлекторный/коаксиальный канал плюс три диффузных канала для повышения контраста на золоте и паяльной маске
- Оптика: обеспечивает маркировку дефектов и отбраковку бракованных единиц
- Механика и оборудование: прочная конструкция для высокого пропускного режима
- Пользовательский интерфейс и эргономика: интуитивное управление, требуется минимальное обучение
- Совместимость: работает на Sprint™; совместим с CDB™ и CDBIC™; совместим со всеми системами CIMS AVI и лазерными маркировочными устройствами сторонних производителей