ОбзорGalaxy 7Cχ — система автоматического оптического контроля (AOI) для IC-подложек, разработанная для серийного производства. Обеспечивает минимальную детектируемую линию/интервал до 7 мкм, использует цветную камеру и продвинутую оптику для получения изображений высокого разрешения на производственной скорости сканирования.
Ключевые преимущества- Оптическая технология Prisma™ Gen II для гибкого освещения и высокого контраста
- Детекционный движок Spark™ 3.0 кроссплатформенный с настраиваемыми алгоритмами
- Цветное снятие изображений, оптимизированное для высокоразрешающего захвата на высокой скорости
- Линейные моторы для плавного и тихого перемещения
- Компактная механическая платформа, пригодная для интеграции на производстве
- Аппаратное обеспечение 6-го поколения с улучшенным блоком подсветки
- Быстрая и интуитивная настройка для сокращения времени переналадки
Опции- Fi™ – опция финальной инспекции для готовых плат
- +2DM™ метрология – измерение размеров панели
- +2CD™ метрология – 2D-измерение элементов цепи
- +3DH™ метрология – 3D-измерение высоты элементов цепи
- +3DP™ метрология – 3D-профилирование элементов цепи
- LDI™ – опция инспекции лазерного сверления
- CDB™/CDBIC™ – классификация дефектов и виртуальная картография дефектов
- VVS™ – система виртуальной верификации
- X-WAVE™ – мульти-волновое освещение
Технические характеристики- Минимальная детектируемая линия/интервал: до 7 мкм
- Оптическая технология: Prisma™ Gen II для гибкого освещения и максимального контраста
- Снятие изображений: цветная камера с высоким разрешением при высокой скорости сканирования
- Детекционный движок: Spark™ 3.0 кроссплатформенный
- Механическое движение: линейные моторы для плавного и тихого перемещения
- Платформа: компактная механическая платформа для интеграции в производство
- Поколение аппаратуры: 6-е поколение
- Подсветка: улучшенный блок подсветки (доступна опция X-WAVE™)
- Программное обеспечение: настраиваемые алгоритмы детекции для оптимизации обнаружения и минимизации ложных срабатываний
- Совместимость с автоматизацией: совместимо с фронтальным AMHS или роботом
- Доступные опции метрологии и инспекции: Fi™, +2DM™, +2CD™, +3DH™, +3DP™, LDI™, CDB™/CDBIC™, VVS™