Описание Capricorn 5Cχ — это AVI-система для IC-подложек с минимальной возможностью линия/зазор до 5 µm. Оснащена цветной камерой и оптическим размером пикселя 1,6 µm, предназначена для окончательной инспекции передовых IC-подложек. Двухступенчатая конструкция и две камеры обеспечивают высокую пропускную способность инспекции и улучшенное обнаружение как на металле, так и на паяльной маске. Capricorn 5Cχ полностью совместима с требованиями Industry 4.0 и интегрируется с базами данных и виртуальными проверочными процессами.
Особенности - Высокая чувствительность к дефектам на металле и паяльной маске
- Обнаружение дефектов под паяльной маской
- Инспекция с несколькими разрешениями
- 4 полностью автоматизированных магазина/магазина-податчика
- Высокопроизводительная прошивка обработки изображений
- Мощные процессоры для работы с большими объёмами данных
- Простая и интуитивно понятная настройка
Опции - Интегрированный автоматический очиститель лент
- Функция считывания штрих-кодов
- Антистатический ионизатор
- CDB™/CDBIC™ – классификация дефектов и виртуальная картография дефектов
- X-WAVE™ ‒ многоволновое освещение
- VVS™ ‒ система виртуальной верификации
- Подключение SECS/GEM™
Характеристики / технические спецификации - Применение: Automated Visual Inspection (AVI) для IC-подложек
- Минимальная обнаруживаемая линия/зазор: 5 µm
- Оптический размер пикселя: 1,6 µm
- Камера: цветная камера
- Механическая конфигурация: двухступенчатая и с двумя камерами
- Движок обнаружения: Spark™ 3.0 (cross-platform)
- Совместимость: VVS™/AVI виртуальная система верификации, протоколы SECS/GEM™
- Функции Industry 4.0: сканирование/обработка штрих-кодов, подключение к внутренним/внешним базам данных
- Магазины: 4 полностью автоматизированных магазина
- Возможности обнаружения: улучшенное обнаружение на металле и паяльной маске, включая дефекты под паяльной маской
- Производительность: высокопроизводительная прошивка обработки изображений и мощные процессоры для работы с большими объёмами данных