Оптическая система контроля Phoenix PT+

с камеройавтоматизированнаядля стеклянной поверхности

Описание
Phoenix PT+ — система CIMS AOI, предназначенная для инспекции высокоразрешающих фототулов, таких как художественные изображения на плёнке и стеклянные маски. Сканирование возможно до ширины линия/пространство 12,5 мкм. Поскольку маски используются с трансмиссивным освещением, Phoenix PT+ применяет тот же оптический путь для инспекции, что обеспечивает надёжное обнаружение дефектов, которые в противном случае могли бы быть перенесены на платы, изготовленные с дефектными масками. Система сочетает в себе высокое качество изображения и настраиваемые алгоритмы обнаружения. Оснащённая современным оборудованием для захвата изображений и продвинутым программным обеспечением, линейка Phoenix обеспечивает высокий уровень обнаружения при низком уровне ложных срабатываний. Phoenix PT+ работает на двигателе обнаружения Spark™ — кроссплатформенном решении.

Ключевые особенности

• Прозрачный или матовый стеклянный стол
• Совместимость с широким спектром рам
• Подходит для стеклянных масок и фотошаблонов на плёнке
• Прочная механическая конструкция
• Высокая эргономика конструкции
• Высокопроизводимая прошивка обработки изображений
• Мощные процессоры для обработки больших объёмов данных
• Быстрая и интуитивная настройка для новых задач

Опции

• Несколько размеров рам для стеклянных масок
• Универсальный адаптер рам
• Интегрированный трекер высоты
• +2CD™ метрология – 2D-измерение элементов схем
• CDB™/CDBIC™ – классификация дефектов и виртуальное картирование дефектов

Характеристики / технические данные

• Минимальная обнаруживаемая ширина линия/пространство: 12,5 мкм
• Цель инспекции: высокоразрешающие фототулы, включая работы на плёнке и стеклянные маски
• Освещение / оптический путь: инспекция с трансмиссивным освещением (тот же путь света, что используется при применении масок)
• Стол: прозрачный или матовый стеклянный стол
• Совместимость рам: совместим с широким спектром рам; несколько размеров рам для стеклянных масок доступны как опция
• Механика: прочная механическая конструкция с высокой эргономикой
• Захват изображения: современное оборудование для захвата изображений
• Обработка: высокопроизводящая прошивка обработки изображений и мощные процессоры для работы с большими объёмами данных
• Программное обеспечение / движок обнаружения: работает на кроссплатформенном движке обнаружения Spark™ с настраиваемыми алгоритмами обнаружения
• Настройка: быстрая и интуитивная настройка для новых задач
• Опциональная метрология и классификация: +2CD™ 2D-метрология, CDB™/CDBIC™ классификация дефектов и виртуальное картирование дефектов
• Опциональное оборудование: универсальный адаптер рам, интегрированный трекер высоты