ОписаниеAVI для IC-подложек с минимальным линия/шаг до 8 µm.
Capricorn 8Cχ — AVI-система последнего поколения от CIMS, оснащённая цветной камерой, предназначена для окончательной инспекции современных IC-подложек. Способна сканировать технологии с линией/шагом 8 µm и использует оптический размер пикселя 2,2 μm.
Системы Capricorn AVI имеют архитектуру с двойной платформой и двойной камерой и работают на базе современного аппаратного и программного обеспечения, обеспечивая высокопроизводительную инспекцию и существенно повышенные возможности обнаружения как на металле, так и на паяльной маске.
Системы Capricorn полностью совместимы с требованиями Индустрии 4.0, включая сканирование и обработку штрихкодов, подключение к внутренним и внешним базам данных, полную совместимость с системой виртуальной верификации CIMS для инспекции AVI (VVS™/AVI), а также поддержку внешних протоколов данных для интеграции в «умное» производство.
Capricorn 8Cχ работает на движке обнаружения Spark™ 3.0 — инновационной кроссплатформенной платформе.
Преимущества- Высокая обнаруживаемость на металле и паяльной маске
- Обнаружение дефектов под паяльной маской
- Инспекция в нескольких разрешениях
- 4 полностью автоматизированных магазина
- Высокопроизводительная прошивка обработки изображений
- Мощные процессоры для обработки больших объёмов данных
- Простая и интуитивная настройка
Опции- Интегрированный автоматический очиститель полос
- Возможность считывания штрихкодов
- Антистатическое ионизирующее устройство
- CDB™/CDBIC™ – классификация дефектов и виртуальная карта дефектов
- X-WAVE™ ‒ много-волновое освещение
- VVS™ ‒ система виртуальной верификации
- Подключение SECS/GEM™
Технические характеристики- Минимум линия/шаг: 8 µm
- Оптический размер пикселя: 2,2 μm
- Цветная камера
- Архитектура с двойной платформой и двойной камерой
- Работает на движке Spark™ 3.0
- Высокая обнаруживаемость на металле и паяльной маске; обнаружение дефектов под паяльной маской
- Инспекция в нескольких разрешениях
- 4 полностью автоматизированных магазина
- Высокопроизводительная прошивка обработки изображений и мощные процессоры
- Совместимость с Индустрией 4.0: обработка штрихкодов, подключение внутренних/внешних баз данных
- Совместимость с системой виртуальной верификации VVS™/AVI
- Поддержка внешних протоколов данных завода, включая SECS/GEM™