Оптический прибор для контроля Galaxy 10Cχ

для полупроводникадля печатной платыдля электронной промышленности

Описание
AOI для IC подложек и HDI с ультратонкими линиями с поддержкой минимальной линии/шаге до 10 мкм. Galaxy 10Cχ — последнее поколение AOI-систем от CIMS, оснащённое цветной камерой, разработано для серийного производства современных IC подложек и HDI с ультратонкими линиями. Система способна сканировать технологию с шириной линия/шаг до 10 мкм и сочетает высокоразрешающую съёмку с настраиваемыми алгоритмами обнаружения. Оптическая технология Prisma™ Gen II обеспечивает гибкое покрытие подсветки и максимальный контраст для поддержки высокоразрешающей съёмки при высокой скорости сканирования. В сочетании с продвинутыми возможностями захвата изображений и программного обеспечения семейство Galaxy обеспечивает точное обнаружение при минимальном уровне ложных срабатываний. Galaxy 10Cχ работает на Spark™ 3.0 — кроссплатформенном детекционном движке последнего поколения от CIMS.

Ключевые характеристики

• Линейные моторы для плавного и бесшумного движения
• Компактная механическая платформа
• Аппаратное обеспечение 6-го поколения
• Улучшенный блок подсветки
• Быстрая и интуитивная настройка для новых заданий
• Совместимость с фронтальной AMHS-автоматизацией или роботом

Опции

• Fi™ – опция финальной инспекции для готовых плат
• +2DM™ метрология – измерение размеров панели
• +2CD™ метрология – 2D-измерение элементов схемы
• +3DH™ метрология – 3D-измерение высоты элементов схемы
• +3DP™ метрология – 3D-профилирование элементов схемы
• LDI™ – опция инспекции лазерного сверления
• CDB™/CDBIC™ – классификация дефектов и виртуальное картирование дефектов
• VVS™ – система виртуальной верификации
• X-WAVE™ – многоволновая подсветка

Технические характеристики

• Применение: AOI для IC подложек и HDI с ультратонкими линиями
• Минимальная поддерживаемая линия/шаг: до 10 мкм
• Камера: цветная камера для высокоразрешающей съёмки
• Оптическая технология: Prisma™ Gen II для гибкого светового покрытия и максимального контраста
• Детекционный движок: Spark™ 3.0 кроссплатформенный детекционный движок
• Производительность: высокоразрешающая съёмка на высокой скорости сканирования с настраиваемыми алгоритмами обнаружения
• Платформа: компактная механическая платформа с линейными моторами для плавного и бесшумного движения
• Поколение аппаратного обеспечения: 6-е поколение
• Подсветка: улучшенный блок подсветки, доступна опция X-WAVE™ многоволновой подсветки
• Автоматизация: совместимость с фронтальной AMHS-автоматизацией или роботом
• Опции метрологии: +2DM™, +2CD™, +3DH™, +3DP™
• Дополнения для инспекции: Fi™ финальная инспекция, LDI™ инспекция лазерного сверления
• Программные опции: CDB™/CDBIC™ классификация дефектов и виртуальное картирование; VVS™ система виртуальной верификации
• Разработано для: серийного производства с низким уровнем ложных срабатываний