Оптическая система контроля Galaxy Fi 7Cχ

с камеройавтоматизированнаяроботизированная

Описание
Финальная инспекция панелей для современных IC-подложек и HDI с ультратонкими линиями, минимальная способность линия/шаг до 7 µm. Galaxy Fi 7Cχ, новейшая панельная система финальной инспекции от CIMS, разработана для поддержки финальной инспекции современных IC-подложек и HDI с ультратонкими линиями. Оснащена цветной камерой и способна сканировать технологию с шириной линия/шаг до 7 µm. Передовая оптическая технология системы для финальной инспекции разработана для обеспечения максимального контраста на панелях, покрытых паяльной маской, и изготовленных с различными металлическими покрытиями. Эта технология поддерживает высокоразрешающую съемку изображений и обеспечивает надежное обнаружение дефектов на луженой меди, золоченых покрытиях (или OTC), паяльной маске и голом ламинированном основании. Оснащенная передовыми средствами захвата изображений и расширенными программными возможностями, семейство продуктов Galaxy известно исключительным обнаружением при максимально низком уровне ложных срабатываний. Galaxy Fi 7Cχ работает на Spark™ 3.0 – инновационном кроссплатформенном двигателе обнаружения.

Основные преимущества

• Линейные моторы для плавного и бесшумного перемещения
• Прочная механическая конструкция
• Автоматизированный вакуумный стол
• Высокопроизводительная прошивка обработки изображений
• Компьютер следующего поколения для обработки больших объёмов данных
• Быстрая и интуитивная настройка для новых заданий
• Совместимость с фронт/бэк AMHS-автоматизацией или роботом

Опции

• +2DM™ метрология – измерение размеров панели
• +2CD™ метрология – 2D-измерение элементов схемы
• +3DH™ метрология – 3D-измерения высоты элементов схемы
• +3DP™ метрология – 3D-профилирование элементов схемы
• CDB™/CDBIC™ – классификация дефектов и виртуальное картирование дефектов
• X-WAVE™ – многоволновое освещение

Характеристики / технические спецификации

• Применение: Финальная инспекция панелей для современных IC-подложек и HDI с ультратонкими линиями
• Минимальная способность линия/шаг: 7 µm
• Кадрирование: Цветная камера, высокоразрешающее получение изображений
• Оптическая технология: Разработана для максимального контраста на паяльной маске и различных металлических покрытиях
• Поддерживаемые материалы/покрытия: Луженая медь, позолота (или OTC), паяльная маска, голый ламинат
• Программное обеспечение/движок обнаружения: Spark™ 3.0 кроссплатформенный движок обнаружения
• Движение: Линейные моторы для плавного и бесшумного перемещения
• Механика: Прочная механическая конструкция; автоматизированный вакуумный стол
• Оборудование обработки: Компьютер следующего поколения для обработки больших объёмов данных
• Автоматизация: Совместимость с фронт/бэк AMHS-автоматизацией или роботом
• Доступная метрология/опции: 2DM™, 2CD™, 3DH™, 3DP™, CDB™/CDBIC™, X-WAVE™