Автоматическая оптическая инспекция (AOI) для подложек ИС с минимальным разрешением линия/пустота до 4 µm.
Galaxy 4Cχ — система AOI последнего поколения от CIMS, оснащённая цветной камерой и оптикой Prisma™ Gen II для получения изображений с высоким контрастом на производственной скорости сканирования.
Разработана для поддержки массового производства подложек ИС следующего поколения путем сочетания высокоразрешающей съёмки и настраиваемых алгоритмов детекции на базе Spark™ 3.0.
Модульные опции и пакеты метрологии обеспечивают inline-измерения и инспекционные процессы для панелей и элементов цепей.
Ключевые особенности
Линейные двигатели для плавного и бесшумного перемещения
Компактная механическая платформа для интеграции в цеху
Аппаратная архитектура 6-го поколения
Улучшённый блок подсветки с опцией X-WAVE™ мультиволнового освещения
Быстрая и интуитивная настройка новых задач
Совместимость с фронтальной автоматикой AMHS или роботизированной подачей
Опции
Fi™ — опция финальной инспекции для готовых плат
+2DM™ метрология — измерение размеров панели
+2CD™ метрология — 2D-измерение элементов схемы
+3DH™ метрология — 3D-измерение высоты элементов
+3DP™ метрология — 3D-профилирование элементов схемы
LDI™ — опция инспекции лазерного сверления
CDB™/CDBIC™ — классификация дефектов и виртуальная карта дефектов
VVS™ — система виртуальной верификации
X-WAVE™ — мультиволновое освещение
Технические характеристики
Применение: Автоматическая оптическая инспекция (AOI) для подложек ИС
Минимально различимая линия/пустота: 4 µm
Камера: Цветная камера
Оптическая технология: Prisma™ Gen II
Движок детекции: Spark™ 3.0 (cross-platform)
Система движения: Линейные двигатели для плавного и бесшумного перемещения
Механика: Компактная платформа для плотных конфигураций цеха
Поколение аппаратуры: 6-е поколение
Подсветка: Усиленный блок подсветки (X-WAVE™ опционально)
Совместимость с автоматизацией: Front AMHS или робот
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.