Линейный координатный стол MT130

электрический1 осьсверхточный

MT130 Миниатюрная линейная ступень для EUV 155 x 130 x 43 мм, UHV / DUV / EUV, ISO 5, перемещение до 50 мм, повтор 2,3 мкм, нагрузка 9 кг, скорость 40 мм/с - Чистое помещение: варианты до класса ISO 5 (выше - по запросу) - Вакуум: все диапазоны HV / UHV - Луч: EUV, DUV, UV - Жидкость для смазки до 10-8 / сухая до 10-11 мбар - Макс. Температура выпечки: 120°C Опции: - Возможность штабелирования для создания компактной 3-осевой системы позиционирования: MP130-3 - Возможность комбинирования с поворотным столом DT130 - Диапазон перемещения до 80 мм -Измерительная система высокого разрешения - EUV смазка, UHV смазка без муки / PFAS - Индивидуальная разработка с 3D-проектированием, прототипы, серийное производство Компактная линейная ось EUV с внутренним двигателем Миниатюрная линейная ось достигает очень хороших ходовых качеств благодаря безлюфтовому подшипнику поперечных роликов. Привод интегрирован в очень компактную систему позиционирования. Система позиционирования также оснащена постоянным магнитным тормозом. Области применения Позиционирование в малых размерах в чистых помещениях EUV, например, камеры, микроскопы / датчики (AFM, WLI), создание компактных многоосевых систем XYZ, выравниватели для промышленности и исследований, компактные системы позиционирования в чистых помещениях, инспекция пластин, выравнивание зондов для пластин