Электрический манипулятор 3LT300с помощью вакуумадля позиционирования3 оси
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
Характеристики
- Привод
- электрический
- Захват
- с помощью вакуума
- Применение
- для позиционирования
- Другие характеристики
- 3 оси
- Максимальный ход
10 mm
(0 in)
Описание
3-осевые манипуляторы из трех LT300
Применение: 3-осевая система позиционирования HV
Преимущество: исключительная стабильность при достижении позиции, сухой двойной
Особенности: Стабилизация с помощью пьезо-тормоза
- Вакуум: все диапазоны давления HV / UHV до 10-11
- Магнетизм: магнитный
- Смазка: жидкая до 10E-8 / сухая до 10E-11 мбар
- Макс. Температура запекания: 120°C
Опции:
- Выбор материала и вакуумной смазки в соответствии с условиями применения
- Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере
- Опционально с блоком управления FMC400/450
Технические данные
- Диапазон перемещения: 10 мм - 100 мм
- Точность повторения:
± 4 мкм (однонаправленный)
± 5 мкм (двунаправленный)
- Нагрузка: → 200 Н / ↑ 20 Н
- Макс. Скорость: 10 мм/с
- Двигатель: Пьезодвигатель
- Направляющая: Поперечный роликовый подшипник, нержавеющая сталь, гибрид
- Обратная связь: Линейная измерительная система, открытый контур
- Система измерения разрешения: 0.001 мкм - 0,1 мкм
---
Каталоги
Для этого товара не доступен ни один каталог.
Посмотреть все каталоги Steinmeyer Holding GmbHДругие изделия Steinmeyer Holding GmbH
Cleanroom, Vacuum & Beam Positioning Stages: Linear Stages, Lifting Stages, XY Stages, Rotary Stages
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.