Точная вертикальLA97-MT85
Применение: Многоцелевой манипулятор
Преимущество: для сканирования с высоким разрешением
Особенности: Позиционирование с очень высоким разрешением
- Вакуум: все диапазоны давления HV / UHV до 10-11
- Магнетизм: магнитный
- Смазка: жидкая до 10E-8 / сухая до 10E-11 мбар
- Макс. Температура запекания: 80°C
Опции:
- Выбор материала и вакуумной смазки в соответствии с условиями применения
- Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере
- Опционально с блоком управления FMC400/450
- Технические данные
-Диапазон перемещения: 20 мм - 200 мм
- Точность повторения:
± 0,02 мкм (однонаправленный)
± 0,03 мкм (двунаправленный)
- Нагрузка: → 200 Н / ↑ 20 Н
- Макс. Скорость: 10 мм/с
- Двигатель: Пьезодвигатель
- Направляющие: Крестообразный роликовый подшипник из нержавеющей стали, гибридный, дополнительная керамика
- Обратная связь: Линейная измерительная система
- Измерительная система с разрешением: 0.001 мкм - 0,1 мкм
---