Линейный координатный стол LA97-MT85
пьезоэлектрический2 осисверхточный

Линейный координатный стол - LA97-MT85 - Steinmeyer Holding GmbH - пьезоэлектрический / 2 оси / сверхточный
Линейный координатный стол - LA97-MT85 - Steinmeyer Holding GmbH - пьезоэлектрический / 2 оси / сверхточный
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Направление
линейный
Тип
пьезоэлектрический
Количество осей
2 оси
Другие характеристики
сверхточный, промышленный, для погрузки/разгрузки полупроводниковых пластин
Ход

МИН.: 20 mm
(0,787 in)

МАКС.: 200 mm
(7,874 in)

Скорость

МИН.: 5 mm/s

МАКС.: 10 mm/s

Повторяемость

МИН.: 0,02 µm

МАКС.: 30 µm
(0,00118 in)

Нагрузка

МИН.: 2 kg
(4,41 lb)

МАКС.: 20 kg
(44,09 lb)

Описание

Точная вертикальLA97-MT85 Применение: Многоцелевой манипулятор Преимущество: для сканирования с высоким разрешением Особенности: Позиционирование с очень высоким разрешением - Вакуум: все диапазоны давления HV / UHV до 10-11 - Магнетизм: магнитный - Смазка: жидкая до 10E-8 / сухая до 10E-11 мбар - Макс. Температура запекания: 80°C Опции: - Выбор материала и вакуумной смазки в соответствии с условиями применения - Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере - Опционально с блоком управления FMC400/450 - Технические данные -Диапазон перемещения: 20 мм - 200 мм - Точность повторения: ± 0,02 мкм (однонаправленный) ± 0,03 мкм (двунаправленный) - Нагрузка: → 200 Н / ↑ 20 Н - Макс. Скорость: 10 мм/с - Двигатель: Пьезодвигатель - Направляющие: Крестообразный роликовый подшипник из нержавеющей стали, гибридный, дополнительная керамика - Обратная связь: Линейная измерительная система - Измерительная система с разрешением: 0.001 мкм - 0,1 мкм

---

Каталоги

Для этого товара не доступен ни один каталог.

Посмотреть все каталоги Steinmeyer Holding GmbH

Другие изделия Steinmeyer Holding GmbH

Cleanroom, Vacuum & Beam Positioning Stages: Linear Stages, Lifting Stages, XY Stages, Rotary Stages

* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.