Линейный координатный стол MT85

пьезоэлектрический1 осьсверхточный

MDT85-PM Линейные ступени и оси для вакуумных и чистых помещений - Чистое помещение: варианты до класса ISO 6 (выше - по запросу) - Вакуум: все диапазоны HV / UHV - Луч: УФ / DUV / EUV - Смазка: жидкая до 10-8 / сухая до 10-11 мбар - Макс. Температура выпечки: 140°C Опции: - С отверстием или без отверстия (Ø 25 мм) - Возможность штабелирования в компактную 3-осевую систему позиционирования -Магнитность: магнитная, слабомагнитная, безмагнитная - Смазка EUV, смазка UHV без муки / PFAS - Индивидуальная разработка с 3D-проектированием, прототипы, серийное производство Области применения Позиционирование малых размеров в чистом помещении EUV, например, камеры, микроскопы / датчики (AFM, WLI), измерения при трансиллюминации, позиционирование микроскопов, настройка компактных многоосевых систем XYZ, манипуляторов для промышленности и исследований, компактные системы позиционирования в чистом помещении, выравнивание полупроводников, контроль пучка