Линейный координатный стол PLT240

электрический1 осьсверхточный

PLT240 Прецизионный линейный этап с высокой нагрузкой HV / UV / DUV, ISO 6, перемещение 50 - 850 мм, нагрузка 100 кг, повтор 0,4 мкм, ширина 240 - Чистое помещение: варианты до класса ISO 6 (выше - по запросу) - Вакуум: все зоны в высоком вакууме, смазочная жидкость до 10-7 - Макс. Температура выпечки: 80°C Опции - Поводковый винт с сухой смазкой или шарико-винтовая пара с жидкой смазкой - Исполнение для чистых помещений, вакуума и балок - Дизайн в атмосфере азота - Индивидуальная разработка с 3D проектированием, прототипами, серийным производством - Опционально с контроллером FMC400/450 Области применения Производство и обработка полупроводников, позиционирование DUV с высокой нагрузкой, позиционирование для сканирования, позиционирование при переносе, полупроводниковые технологии, сверхвысокий вакуум, вакуумные камеры, научные исследования, приборы для лучевых линий, сборка и контроль электроники