HT160
Точная вертикальная подъемная ступень с высокой нагрузкой
Применение: вакуумный подъемный механизм
Преимущество: высокая жесткость и нагрузка
Особенности: клин с шарико-винтовым шпинделем
- Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV до 10E-11 мбар
- Смазка жидкая до 10E-8 / сухая до 10E-11 мбар
- Доступно магнитное исполнение
- Макс. Температура выпечки: 120°C
Опции:
- Выбор материала и вакуумная смазка в соответствии с условиями применения
- Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере
- Исполнение для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу)
- Опционально с контроллером FMC400/450
Технические данные:
- Ход: 16 мм
- Повторяемость: -
± 1 мкм, ± 1,7 мкм (однонаправленный)
± 1,7 мкм, ± 2 мкм (двунаправленный)
- Нагрузка: → 50 Н / ↑ 45 Н
- Макс. Скорость: 2,2 мм/с
- Двигатель: Шаговый двигатель
- Подшипник: перекрестные роликовые подшипники из нержавеющей стали, гибридные
- Обратная связь: Открытый контур, линейная шкала
- Разрешение обратной связи: нет или линейная
---