Линейный координатный стол HT160
электрический1 осьс перекрестными роликами

линейный координатный стол
линейный координатный стол
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Направление
линейный
Тип
электрический
Количество осей
1 ось
Другие характеристики
сверхточный, алюминий, промышленный, низковакуумный, для погрузки/разгрузки полупроводниковых пластин, с открытым контуром, с перекрестными роликами
Ход

МАКС.: 16 mm
(0,63 in)

МИН.: 1 mm
(0,039 in)

Скорость

МАКС.: 2,2 mm/s

МИН.: 1 mm/s

Повторяемость

МАКС.: 5 µm

МИН.: 1 µm

Нагрузка

МАКС.: 5 kg
(11,02 lb)

МИН.: 4,5 kg
(9,92 lb)

Описание

HT160 Точная вертикальная подъемная ступень с высокой нагрузкой Применение: вакуумный подъемный механизм Преимущество: высокая жесткость и нагрузка Особенности: клин с шарико-винтовым шпинделем - Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV до 10E-11 мбар - Смазка жидкая до 10E-8 / сухая до 10E-11 мбар - Доступно магнитное исполнение - Макс. Температура выпечки: 120°C Опции: - Выбор материала и вакуумная смазка в соответствии с условиями применения - Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере - Исполнение для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Опционально с контроллером FMC400/450 Технические данные: - Ход: 16 мм - Повторяемость: - ± 1 мкм, ± 1,7 мкм (однонаправленный) ± 1,7 мкм, ± 2 мкм (двунаправленный) - Нагрузка: → 50 Н / ↑ 45 Н - Макс. Скорость: 2,2 мм/с - Двигатель: Шаговый двигатель - Подшипник: перекрестные роликовые подшипники из нержавеющей стали, гибридные - Обратная связь: Открытый контур, линейная шкала - Разрешение обратной связи: нет или линейная

---

Каталоги

Для этого товара не доступен ни один каталог.

Посмотреть все каталоги Steinmeyer Holding GmbH

Салоны

Вы сможете встретиться с этим поставщиком на выставке(-ах)

AMB 2024
AMB 2024

10-14 сент. 2024 Stuttgart (Германия) Зал C2 - Стенд 30

  • Дополнительная информация
    W3-Fair Convention 2024
    W3-Fair Convention 2024

    25-26 сент. 2024 Jena (Германия)

  • Дополнительная информация
    Посмотреть все выставки

    Другие изделия Steinmeyer Holding GmbH

    Cleanroom, Vacuum & Beam Positioning Stages: Linear Stages, Lifting Stages, XY Stages, Rotary Stages

    * Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.