Линейный координатный стол KDT300

электрический2 осисверхточный

KDT300 Стабильный xy-станок с высокой нагрузкой Применение: транспортировочный этап, этап сканирования для высоких нагрузок Преимущество: - высокий срок службы, несмотря на сухую смазку Особенности: большой срок службы, несмотря на сухую смазку - Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV до 10E-11 - Смазочная жидкость до 10E-11 - Диафрагма: 80 x 80 мм - Макс. Температура выпечки: 120°C Опции: - С измерительной системой и без нее - Опционально с контроллером FMC400/450 - Ход до 80 мм для грузов до 10 кг - Опционально с приводом ведущего винта или шарико-винтовой передачи со смазкой для более высоких скоростей - Возможность комбинирования с поворотными столами (например, DT155) для ротационных операций - Выбор материала и вакуумная смазка в соответствии с условиями применения - Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере - Исполнение для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) Технические данные: - Ход: 10 мм, 50 мм, 10 мм - Повторяемость: - ± 2,8 мкм, ± 0,7 мкм, ± 0,4 мкм, ± 2,8 мкм (однонаправленный) ± 0,5 мкм, ± 4 мкм (двунаправленный) - Нагрузка: → 44 Н / ↑ 120 Н - Макс. Скорость: 10 мм/с - Двигатель: Шаговый двигатель - Подшипник: поперечный ролик из нержавеющей стали, гибридный - Обратная связь: Открытый контур, линейная шкала - Разрешение обратной связи: 0.1 мкм