Линейный координатный стол LA80

электрический1 осьсверхточный

LA80 Высокоскоростная линейная ось сверхвысокого напряжения Применение: быстрая транспортная ступень Преимущество: высокий срок службы, несмотря на сухую смазку Особенности: шарико-винтовая передача с сухой смазкой - Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV до 10E-11 мбар - Магнетизм: магнитный - Смазка: жидкая до 10E-8 / сухая до 10E-11 мбар - Макс. температура запекания: 120°C Опции: - По выбору с измерительной системой и без нее - Выбор материала и вакуумная смазка, адаптированные к условиям применения - Возможность объединения с системой быстрого XYZ-переноса (например, LA90, LA95, LA170) - Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере - Исполнение для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Опционально с контроллером перемещения FMC400/450 Технические данные - Перемещение: 200 мм - 500 мм - Повторяемость: ± 3 мкм, ± 0,3 мкм (однонаправленный) ± 4 мкм, ± 0,5 мкм (двунаправленный) - Нагрузка: → 49 Н / ↑ 9 Н - Макс. Скорость: 100 мм/с - Двигатель: Шаговый двигатель - Подшипник: Гибридные рециркуляционные шариковые направляющие из нержавеющей стали - Обратная связь: Открытый контур, линейная шкала - Разрешение обратной связи: ± 0,5 мкм