Линейный координатный стол KDT120

пьезоэлектрический2 осисверхточный

KDT120-20 Станок XY с высоким разрешением Применение: вакуумный XY-штатив Преимущество: быстрота и высокое разрешение Особенности: параметры рысканья и тангажа в три раза лучше, чем у варианта с диафрагмой - Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV до 10E-11 мбар - Смазка: жидкая до 10E-8 / сухая до 10E-11 мбар - Магнетизм: магнитный / слабомагнитный / без магнитов - Макс. Температура выпечки: 120°C Опции: - С диафрагмой и без диафрагмы - Поставляются в магнитном, слабомагнитном и безмагнитном исполнении - Различные варианты двигателей: Nanomotion или пьезодвигатель - Возможность комбинирования с системой позиционирования XYZ (например, MT105) - Комбинируется с поворотными каскадами (например, DT105) для ротационных применений - Опционально с контроллером FMC400/450 Технические данные: - Ход: 24 мм - Повторяемость: - ± 0,03 мкм (однонаправленный) - ± 0,05 мкм (двунаправленный) - Нагрузка: → 5 Н / ↑ 45 Н - Макс. Скорость: - 5 мм/с - Двигатель: Пьезодвигатель - Подшипник: перекрестные роликовые подшипники из нержавеющей стали, гибридные, опционально полностью керамические - Обратная связь: Линейная шкала - Разрешение обратной связи: 0.005 мкм - 0,1 мкм