HT240
Точная вертикальная подъемная ступень с высокой нагрузкой
Применение: Вакуумная подъемная ступень
Преимущество: высокая жесткость и нагрузка
Особенности: клин с шарико-винтовым шпинделем
- Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV до 10-11 мбар
- Смазка жидкая до 10-8 / сухая до 10-11 мбар
- Магнетизм: магнитный
- Макс. Температура выпечки: 120°C
Опция:
- Выбор материала и вакуумная смазка в соответствии с условиями применения
- Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере
- Опционально с контроллером FMC400/450
Технические данные
- Ход: - 25 мм
- Повторяемость: -
± 1,7 мкм, ± 0,3 мкм (однонаправленный)
± 2,7 мкм, ± 0,5 мкм (двунаправленный)
- Нагрузка: → 440 Н / ↑ 410 Н
- Макс. Скорость: 3,4 мм/с
- Двигатель: Пьезодвигатель
- Подшипник: Поперечный роликовый из нержавеющей стали, гибридный
- Обратная связь: Линейная шкала
- Разрешение обратной связи: 1 мкм
---