Линейный координатный стол LA170

с линейным двигателем1 осьс перекрестными роликами

LA170 Точная линейная ось XYZ с высокой нагрузкой Применение: Транспортный этап, этап сканирования для высоких нагрузок Преимущество: высокий срок службы, несмотря на сухую смазку Особенности: ведущий винт с сухой смазкой или шарико-винтовая пара с жидкой смазкой - Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV до 10E-11 мбар - Магнетизм: магнитный - Смазка: жидкая до 10E-8 / сухая до 10E-11 мбар - Макс. температура запекания: 120°C Опции: - Выбор материала и вакуумная смазка в соответствии с условиями применения - Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере - Исполнение для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Опционально с контроллером FMC400/450 Технические данные - Ход: 60 мм - 130 мм - Повторяемость: ± 2,8 мкм, ± 0,4 мкм (однонаправленный) ± 4 мкм, ± 0,5 мкм (двунаправленный) - Нагрузка: → 196 Н / ↑ 196 Н - Макс. Скорость: 10 мм/с - Двигатель: Шаговый двигатель - Подшипник: перекрестные роликовые подшипники из нержавеющей стали, гибридные - Обратная связь: Линейная шкала - Разрешение обратной связи: ± 0,1 мкм