MT53
Микроштатив высокого разрешения
Применение: многоцелевой микроштатив
Преимущество: для сканирования с высоким разрешением
Особенности: позиционирование с очень высоким разрешением
- Вакуум: все диапазоны давления HV /UHV до 10E-11 мбар
- Смазка: жидкая до 10E-8 мбар / сухая смазка до 10E-11 мбар
- Магнетизм: магнитный
- Макс. температура запекания: 120°C
Опции:
- Выбор материала и вакуумная смазка в соответствии с условиями применения
- Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере
- Опционально с контроллером FMC400/450
Технические данные:
- Ход: 10 мм
- Повторяемость: -
± 0,2 мкм (однонаправленный)
± 0,3 мкм (двунаправленный)
- Нагрузка: → 5 Н / ↑ 8,8 Н
- Макс. Скорость: 0,2 мм/с
- Двигатель: Пьезодвигатель
- Подшипник: поперечные роликовые подшипники
- Обратная связь: Линейная шкала
- Разрешение обратной связи: ± 0,1 мкм
---