Линейный координатный стол KT105

пьезоэлектрический2 осисверхточный

KT105-50 Этап XY с высоким разрешением Применение: вакуумный XY-штатив Преимущество: быстрота и высокое разрешение Особенности: параметры рысканья и тангажа в три раза лучше, чем у варианта с апертурой - Вакуум: все области HV / UHV до 10-11 мбар - Магнетизм: магнитный | слабомагнитный | безмагнитный - Смазка: жидкая до 10-8 / сухая до 10-11 мбар - Макс. температура запекания: 120°C Опции: - С диафрагмой и без диафрагмы - Поставляются в магнитном, слабомагнитном и безмагнитном исполнении - Различные варианты двигателей: Nanomotion или пьезодвигатель - Возможность комбинирования с системой позиционирования XYZ (например, MT105) - Комбинируется с поворотными каскадами (например, DT105) для ротационных применений - Опционально с контроллером FMC400/450 Технические данные - Ход: 50 мм - Повторяемость: - ± 0,3 мкм, ± 0,5 мкм (однонаправленный) ± 0,4 мкм, ± 0,7 мкм (двунаправленный) - Нагрузка: → 5 Н, 4 Н / ↑ 45 Н - Макс. Скорость: 10/50 мм/с - Мотор: Пьезомотор / Nanomotion - Подшипники: перекрестные роликовые подшипники из нержавеющей стали, гибридные, опционально полностью керамические - Обратная связь: Линейная шкала - Разрешение обратной связи: 0.001 мкм - 0,1 мкм