Система позиционирования XYZ 3-Achs-Strahljustage

линейнаяпьезоэлектрическая

3-Achs-Strahljustage UHV XYZ-System Применение: Приложения с высоким разрешением и быстрым сканированием Преимущество: - Быстрое позиционирование в сверхвысоких температурах, в том числе в вертикальном положении Особенности: Выдающееся разрешение, очень тонкий, с внутренним мотором - Вакуум: все области HV / UHV до 10E-11 мбар - Магнетизм: магнитный | слабомагнитный | безмагнитный - Смазка: жидкая до 10E-8 / сухая до 10E-11 мбар - Макс. температура запекания: 120°C Опции: - Выбор материала и вакуумная смазка в зависимости от применения - Возможность объединения с системой XYZ-передачи (например, LA90, LA95, LA170) - Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере - Опционально с контроллером FMC400/450 - Опционально с контроллером движения FMC400/450 Технические данные: - Ход: 5 мм, 10 мм - Повторяемость: - ± 0,2 мкм (однонаправленный) ± 0,3 мкм (двунаправленный) - Нагрузка: → 5 Н / ↑ 8,8 Н - Макс. Скорость: 10 мм/с - Двигатель: Пьезодвигатель - Подшипник: перекрестные роликовые подшипники из нержавеющей стали, гибридные, опционально полностью керамические - Обратная связь: Линейная шкала - Разрешение обратной связи: 0,1 мкм, опционально до 0,005 мкм