LA97
Нанометрический линейный каскад
Применение: сканирование
Преимущество: нанометровое позиционирование, в том числе вертикальное
Особенности: позиционирование с экстремальным разрешением и высочайшей жесткостью может быть оснащено 2 (или 4) двигателями
- Вакуум: все диапазоны давления HV / UHV до 10E-11 мбар
- Магнетизм: магнитный | слабомагнитный | безмагнитный
- Смазка: жидкая до 10E-8 / сухая смазка до 10E-11 мбар
- Макс. температура запекания: 120°C
Опции:
- Доступны магнитные, слабомагнитные и безмагнитные версии
- Выбор материала и вакуумная смазка в соответствии с условиями применения
- Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере
- Исполнение для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу)
- Опционально с контроллером FMC400/450
Технические данные
- Перемещение: 100 мм - 300 мм
- Повторяемость:
± 0,015 мкм (однонаправленный)
± 0,02 мкм (двунаправленный)
- Нагрузка: → 98 Н / ↑ 58 Н
- Макс. Скорость: 10 мм/с
- Двигатель: Пьезодвигатель
- Подшипник: перекрестные роликовые подшипники из нержавеющей стали, гибридные, опционально полностью керамические
- Обратная связь: Линейная шкала
- Разрешение обратной связи: ± 0,1 мкм
---