MT105
Применение: многоцелевой микроштатив
Преимущество: для сканирования с высоким разрешением
Особенности: позиционирование с очень высоким разрешением
- Вакуум: все диапазоны давления HV /UHV до 10E-11 мбар
- Смазка: жидкая до 10E-8 мбар / сухая смазка до 10E-11 мбар
- Магнетизм: магнитный / слабомагнитный / без магнитов
- Макс. температура запекания: 120°C
Опции:
- Доступны версии с магнитным, слабомагнитным и безмагнитным приводом
- До 2 различных двигателей для перемещения больших грузов
- Возможность комбинирования с системой позиционирования XYZ
- Исполнение для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу)
- Опционально с контроллером FMC400/450
Технические данные:
- Ход: 100 мм
- Повторяемость: -
± 0,4 мкм (однонаправленный)
± 0,5 мкм (двунаправленный)
- Нагрузка: → 4 Н / ↑ 55 Н
- Макс. Скорость: 100 мм/с
- Двигатель: Пьезодвигатель
- Подшипник: поперечные роликовые подшипники
- Обратная связь: Линейная шкала
- Разрешение обратной связи: 0.005 мкм - 1 мкм
---