Линейный координатный стол LA92

с линейным двигателем1 осьс перекрестными роликами

LA92 Высокоскоростная линейная ось сверхвысокого напряжения Применение: Приложения с высоким разрешением и быстрым сканированием Преимущества: Быстрое позиционирование в сверхвысоких температурах, в том числе в вертикальном положении Особенности: Выдающееся разрешение, очень тонкий, с внутренним мотором - Вакуум: все области HV / UHV до 10E-11 мбар - Магнетизм: магнитный | слабомагнитный | безмагнитный - Смазка: жидкая до 10E-8 / сухая до 10E-11 мбар - Макс. температура запекания: 120°C Опции: - Выбор материала и вакуумная смазка в зависимости от применения - Возможность объединения с системой XYZ-передачи (например, LA90, LA95, LA170) - Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере - Опционально с контроллером движения FMC400/450 Технические данные - Перемещение: 40 мм - Повторяемость: ± 0,3 мкм (однонаправленный) ± 0,4 мкм (двунаправленный) - Нагрузка: → 19 Н / ↑ 9 Н - Макс. Скорость: 200 мм/с - Двигатель: Nanomotion - Подшипник: перекрестные роликовые подшипники из нержавеющей стали, гибридные, опционально полностью керамические - Обратная связь: Линейная шкала - Разрешение обратной связи: 0.005 мкм - 0,1 мкм