Линейный координатный стол HDT255

электрический1 осьс перекрестными роликами

HDT255 Подъемный стол с высоким грузовым проемом Применение: вакуумный подъемный стол Преимущество: - высокая жесткость и нагрузка, диафрагма Особенности: клиновая ступень с диафрагмой - Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV до 10E-11 мбар - Смазочная жидкость до 10E-8 / сухая смазка до 10E-11 мбар - Магнетизм: магнитный - Макс. Температура выпечки: 120°C Опции: - С диафрагмой или без диафрагмы - Различные ходы - По выбору с измерительными системами и без них - Варианты исполнения для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Выбор материала и вакуумная смазка, адаптированные к условиям применения - Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере - Опционально с контроллером FMC400/450 Технические данные: - Ход: 16 мм - Повторяемость: - ± 2,9 мкм, ± 0,7 мкм (однонаправленный) ± 4 мкм, ± 1 мкм (двунаправленный) - Нагрузка: 98 Н - Макс. Скорость: 16,6 мм/с - Двигатель: Шаговый двигатель - Подшипник: перекрестные роликовые подшипники из нержавеющей стали, гибридные - Обратная связь: Линейная шкала - Разрешение обратной связи: 0.1 мкм