LA95
- Применение: этап транспортировки, этап сканирования
- Преимущество: высокое время жизни, несмотря на сухую смазку
- Особенности: ведущий винт с сухой смазкой или
шарико-винтовая пара с жидкой смазкой
- Вакуум: все диапазоны давления HV / UHV до 10E-9 мбар
- Магнетизм: магнитный
- Смазка: жидкая до 10E-8 / сухая до 10E-11 мбар
- Макс. температура запекания: 120°C
Технические данные
- Ход: 40 мм, 80 мм, 185 мм
- Повторяемость:
± 1,9 мкм, ± 0,4 мкм (однонаправленный)
± 2,9 мкм, ± 0,5 мкм (двунаправленный)
- Нагрузка: → 45 Н / ↑ 40 Н
- Макс. Скорость: 8,4 мм/с
- Двигатель: Шаговый двигатель
- Подшипник: перекрестные роликовые подшипники из нержавеющей стали, гибридные, опционально керамические
- Обратная связь: Линейная шкала, открытый контур
- Разрешение обратной связи: 0.001 мкм - 0,1 мкм
---