Ротационный координатный стол DT155

пьезоэлектрический1 оськомпактный

Поворотный столик высокого разрешения с большой апертурой UHV, DUV / EUV, чистая комната ISO 6, n x 360°, повтор 0.0003°, скорость 300°/с, нагрузка 5 кг - Чистое помещение: варианты до класса ISO 6 (выше - по запросу) - Вакуум: все диапазоны HV / UHV до 10-11 мбар - Смазка: жидкая до 10-8 мбар / сухая до 10-11 мбар - Макс. Температура выпечки: 100°C Опционально настраивается: - Доступны магнитные и слабомагнитные версии (без магнитов - по запросу) - Выбор материала и смазки в зависимости от применения - Опционально с контроллером FMC400/450 - Индивидуальная разработка с 3D-проектированием, прототипами и серийным производством Высокоточная и динамичная визуализация Этот компактный и плоский поворотный столик позволяет достичь чрезвычайно высокого разрешения в вакууме при выполнении быстрых процессов. Благодаря большому просвету 79 мм / 3" можно точно позиционировать, измерять и анализировать даже большие образцы. Его можно объединять в сложные многоосевые системы и легко управлять с помощью наших контроллеров FMC 400/450. Области применения Высокоточная и динамическая микроскопия, например, электронный микроскоп, ионный микроскоп, сканирующий электронный микроскоп, сканирующий туннельный микроскоп, пучковое оборудование, синхротрон, исследования материалов, анализ материалов, контроль полупроводниковых пластин, контроль качества полупроводников, исследования полупроводников