Линейный координатный стол KT106/170

электрический1 осьсверхточный

KT106/170 Штатив для образцов XY HV / UV / DUV, ISO 4, перемещение 136 x 170 мм, реп 2,9 мкм, нагрузка 5 кг, скорость 20 мм/с - Чистое помещение: варианты до класса ISO 4 (выше - по запросу) - Вакуум: все диапазоны HV до 10-7 мбар - Смазка: жидкая до 10-7 мбар - Макс. Температура выпечки: 100°C - Оптимизированное соотношение цены и качества Опции: - Возможность комбинирования с вращающимися ступенями (например, DT105) -Версия для чистых помещений, лабораторий или производства - Разработка под заказчика с 3D-проектированием, прототипами, серийным производством - Опционально с контроллером движения FMC400/450 Области применения Позиционирование для полупроводниковых технологий, микро- и нанопроизводства, масс-спектрометров, фотоэлектронных спектрометров, лабораторных приложений, микроскопии, исследований в высоком вакууме, пробоподготовки, сканирования образцов, обработки образцов, контроля пластин, исследования материалов, анализа материалов