LT300
Точный линейный каскад для высоких нагрузок
Применение: Транспортная ступень, сканирующая ступень для высоких нагрузок
Преимущество: высокий срок службы, несмотря на сухую смазку
Особенности: ведущий винт с сухой смазкой или шарико-винтовая пара с жидкостным пьезотормозом для обеспечения нм-стабильности
- Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV до 10E-11 мбар
- Магнетизм: магнитный
- Смазка: жидкая до 10E-8 / сухая до 10E-11 мбар
- Макс. температура запекания: 120°C
Опции:
- Поставляется с пьезоразрывом
- Выбор материала и вакуумная смазка в соответствии с условиями применения
- Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере
- Опционально с контроллером FMC400/450
Технические данные
- Ход: 50 мм - 100 мм
- Повторяемость:
± 2,4 мкм, ± 0,4 мкм (однонаправленный)
± 1,9 мкм (двунаправленный)
- Нагрузка: → 44 Н / ↑ 120 Н
- Макс. Скорость: 10 мм/с
- Двигатель: Шаговый двигатель
- Подшипник: перекрестные роликовые подшипники из нержавеющей стали, гибридные
- Обратная связь: Линейная шкала
- Разрешение обратной связи: ± 0,1 мкм
---