Ротационный координатный стол DT230

механизированный1 осьдля микроскопов

Поворотный столик с высоким разрешением и стабильной апертурой UHV, DUV / EUV, чистая комната ISO 6, n x 360°, повтор 0.0002°, скорость 180°/с, нагрузка 15 кг -Чистое помещение: варианты до класса ISO 6 (выше - по запросу)) - Луч: УФ, DUV, EUV (рентген, гамма по запросу) - Вакуум: все диапазоны HV / UHV до 10-11 мбар - Смазка: жидкая до 10-8 мбар / сухая до 10-11 мбар - Макс. Температура выпечки: 120°C Опции: - Поставляется в магнитном, маломагнитном и безмагнитном исполнении - Выбор материала и смазки в зависимости от применения -Версия для чистых помещений, лабораторий или производства - Опционально с контроллером FMC400/450 или подключением к ПЛК - Разработка под заказчика с 3D-проектированием, прототипами, серийным производством Области применения Высокоразрешающий, стабильный контроль / микроскопия, например, АСМ, электронный микроскоп, ионный микроскоп, сканирующий электронный микроскоп, сканирующий туннельный микроскоп, измерения в проходящем свете в полупроводниковой технологии, контроль пластин, лабораторная микроскопия, системы визуализации, анализ образцов, приборы для линий пучка, синхротрон, исследования материалов, анализ материалов