Координатный стол XYZ MP53

пьезоэлектрический3 осис перекрестными роликами

Быстрый, точный микропозиционер HV / UHV / EUV, перемещение 20 - 50 мм, повторяемость 0,2 мкм, нагрузка 1 кг - Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV - Жидкость для смазки до 10-8 / сухая до 10-11 мбар - Макс. Температура выпечки: 120°C Опционально настраиваемые: - Доступны версии с магнитным, низкомагнитным и безмагнитным приводом - Различные варианты двигателей: Пьезодвигатель или нанодвигатель - Опционально с измерительной системой высокого разрешения для повторяемости до 0,005 мкм - Возможность комбинирования с поворотными столами для ротационного применения - Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере - Версия для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Опционально с контроллером FMC400/450 Миниатюрный XYZ-манипулятор для высокоточных или динамических применений Манипулятор представляет собой высокодинамичную 3-осевую систему для перемещения по осям X, Y и Z в очень ограниченном пространстве. Реализуется ход до 50 мм. Манипулятор оснащен пьезодвигателями и может реализовать приращение позиционирования в несколько нанометров для высокоточных применений в высоком и сверхвысоком вакууме. Опционально оснащенный наномотором, он особенно подходит для высокодинамичного и высокоточного позиционирования. Области применения Прецизионное позиционирование в очень малых пространствах для лабораторных приложений, микроскопии и полупроводниковых технологий, исследований в сверхвысоком вакууме и при экстремальном ультрафиолетовом излучении, подготовки образцов, сканирования образцов, обработки образцов, настройки камеры, настройки датчиков, исследования материалов, анализ материалов, линии пучка, ускорители, синхротроны, миниатюризация