Координатные столы для погрузки/разгрузки полупроводниковых пластин

Ход: 1 mm - 40 mm
Скорость: 1 mm/s - 200 mm/s
Повторяемость: 0,3 µm - 5 µm

... LA92 Высокоскоростная линейная ось сверхвысокого напряжения Применение: Приложения с высоким разрешением и быстрым сканированием Преимущества: Быстрое позиционирование в сверхвысоких температурах, в том числе в вертикальном положении Особенности: ...

Ход: 1 mm - 100 mm
Скорость: 1 mm/s - 10 mm/s
Повторяемость: 0,4 µm - 5 µm

... LT300 Точный линейный каскад для высоких нагрузок Применение: Транспортная ступень, сканирующая ступень для высоких нагрузок Преимущество: высокий срок службы, несмотря на сухую смазку Особенности: ведущий винт с сухой смазкой или шарико-винтовая ...

Ход: 1 mm - 300 mm
Скорость: 1 mm/s - 10 mm/s
Повторяемость: 0,015 µm - 5 µm

... LA97 Нанометрический линейный каскад Применение: сканирование Преимущество: нанометровое позиционирование, в том числе вертикальное Особенности: позиционирование с экстремальным разрешением и высочайшей жесткостью может быть оснащено ...

Ход: 1 mm - 185 mm
Скорость: 1 mm/s - 8,4 mm/s
Повторяемость: 0,4 µm - 5 µm

... LA95 - Применение: этап транспортировки, этап сканирования - Преимущество: высокое время жизни, несмотря на сухую смазку - Особенности: ведущий винт с сухой смазкой или шарико-винтовая пара с жидкой смазкой - Вакуум: ...

Ход: 1 mm - 10 mm
Скорость: 0,2 mm/s - 10 mm/s
Повторяемость: 0,2 µm - 5 µm

... MT53 Микроштатив высокого разрешения Применение: многоцелевой микроштатив Преимущество: для сканирования с высоким разрешением Особенности: позиционирование с очень высоким разрешением - Вакуум: все диапазоны давления HV /UHV до 10E-11 ...

Ход: 1 mm - 50 mm
Скорость: 1 mm/s - 50 mm/s
Повторяемость: 0,3 µm - 5 µm

... KT105-50 Этап XY с высоким разрешением Применение: вакуумный XY-штатив Преимущество: быстрота и высокое разрешение Особенности: параметры рысканья и тангажа в три раза лучше, чем у варианта с апертурой - Вакуум: все области HV / ...

Ход: 1 mm - 100 mm
Скорость: 1 mm/s - 10 mm/s
Повторяемость: 0,4 µm - 5 µm

... KDT300 Стабильный xy-станок с высокой нагрузкой Применение: транспортировочный этап, этап сканирования для высоких нагрузок Преимущество: - высокий срок службы, несмотря на сухую смазку Особенности: большой срок службы, несмотря на ...

Ход: 1 mm - 16 mm
Скорость: 1 mm/s - 2,2 mm/s
Повторяемость: 1 µm - 5 µm

... HT160 Точная вертикальная подъемная ступень с высокой нагрузкой Применение: вакуумный подъемный механизм Преимущество: высокая жесткость и нагрузка Особенности: клин с шарико-винтовым шпинделем - Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV ...

Ход: 1 mm - 16 mm
Скорость: 1 mm/s - 16,6 mm/s
Повторяемость: 0,7 µm - 5 µm

... HDT255 Подъемный стол с высоким грузовым проемом Применение: вакуумный подъемный стол Преимущество: - высокая жесткость и нагрузка, диафрагма Особенности: клиновая ступень с диафрагмой - Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV до 10E-11 ...

Ход: 1 mm - 25 mm
Скорость: 1 mm/s - 3,4 mm/s
Повторяемость: 0,3 µm - 5 µm

... HT240 Точная вертикальная подъемная ступень с высокой нагрузкой Применение: Вакуумная подъемная ступень Преимущество: высокая жесткость и нагрузка Особенности: клин с шарико-винтовым шпинделем - Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV ...

Скорость: 100, 15 mm/s
Нагрузка: 750 kg

... HEX-S6.50.200 6-Axis Hexapod Tri-pod structer Parallel six degrees of freedom stages Краткое описание: Особенности: Высокая точность, может быть собрана, может быть настроена, световая апертура 460 мм Обеспечивает стабильную и надежную ...

Ход: 50 mm - 1 000 mm
Скорость: 200 000 mm/s
Повторяемость: 0,5 µm - 1 µm

... Картезианские роботы портального типа с большой рабочей зоной. Все подвижные оси расположены над рабочей зоной. - XYZ Gantry 300 x 300 x 50 мм перемещение - Шарико-винтовой механизм - Шаговый или серводвигатель с приводом Опции ...

Ход: 10 mm
Скорость: 200 mm/s

... XY-вращающиеся ступени с линейными двигателями и двигателями с прямым крутящим моментом, разработанные с низким профилем для манипулирования пластинами и многими другими приложениями для автоматизированного точного позиционирования в ...

Ход: 200 mm
Скорость: 400, 800 mm/s

Ход: 280 mm
Скорость: 400, 800 mm/s

Ход: 350 mm
Скорость: 800, 400 mm/s

Ход: 200 mm
Скорость: 100 m/s
Повторяемость: 2 µm

... Комбинация XY-штативов с шарико-винтовым приводом на открытой раме с Lift MLVT-штативами и компактным червячным редуктором, поворотным RTLA-столом - Ход XY от 100 мм до 300 мм - Подъем от 12 мм до 25 мм - Неограниченное вращение ...