Низковакуумный координатный стол MT105 series

линейныйпьезоэлектрическийс линейным двигателем

- Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV до 10E-11 мбар - смазочная жидкость до 10E-8 / сухой до 10E-11 мбар - Макс. Температура выпечки: 120°C Опционально конфигурируется: - Доступны версии с магнитным, слабомагнитным и безмагнитным приводом - С 2 различными двигателями для перемещения высоких нагрузок - Различные варианты двигателей: Nanomotion, пьезодвигатель или линейный двигатель - Возможность комбинирования с системой позиционирования XYZ - Возможность комбинирования с поворотными столами (например, DT105) для выполнения поворотных операций - Индивидуальная адаптация к ситуации установки в камере - Версия для чистого помещения ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Опционально с контроллером FMC400/450 Гибкость и универсальность для сложных условий окружающей среды MT105 - это универсальный микрокаскад, который впечатляет прежде всего своей высокой динамикой и скоростью. Он разработан для достижения превосходной точности хода и позиционирования в экстремальных условиях, например, в высоком вакууме, сверхвысоком вакууме и для немагнитных приложений. Опционально микрокаскад может быть оснащен двумя двигателями для позиционирования более высоких грузов. Области применения Полупроводниковые технологии в сверхвысоком вакууме и при экстремальном ультрафиолетовом излучении, юстировка пластин, юстировка камер, юстировка датчиков, проверка контактов, юстировка зеркал, зондирование, вакуумные камеры, исследования, приборы для лучевых линий, сборка и контроль электроники, высокоточные сканирующие приложения, микросборка