Вертикальный стол позиционирования HDT255 series

механизированныйсверхточныйдля высокой нагрузки

- Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV до 10-11 мбар - Смазочная жидкость до 10-8 / сухой до 10-11 мбар - Макс. Температура выпечки: 120°C - Класс чистого помещения 4 ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Поставляется в магнитном исполнении Возможность конфигурирования по выбору: - С диафрагмой или без диафрагмы - Различные ходы - По выбору с измерительной системой и без нее - Варианты исполнения для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Выбор материала и вакуумная смазка, адаптированные к условиям применения - Индивидуальная адаптация к ситуации установки в камере - Опционально с контроллером FMC400/450 Точная подъемная ступень для высоких нагрузок Подъемная ступень с диафрагмой подходит для высокоточных вертикальных перемещений в экстремальных условиях, таких как высокий вакуум, сверхвысокий вакуум и экстремальное ультрафиолетовое излучение. Благодаря принципу подъемного клина, он достигает своих параметров, несмотря на небольшую общую высоту 125 мм. Комбинация шагового двигателя и прецизионной шарико-винтовой пары, опционально - винта скольжения, обеспечивает минимальный размер шага при сравнительно высоких нагрузках. Области применения Области применения Прецизионное позиционирование в промышленности и научных исследованиях в сверхвысоком вакууме и при экстремальном ультрафиолетовом излучении, выравнивание и контроль пластин, зондовых плат и печатных плат, анализ поверхности, измерение толщины слоя, выравнивание камеры, исследование материалов, анализ материалов, контроль, микроскопия в вакууме, лучевая линия, ускоритель, синхротрон