Низковакуумный координатный стол LA92-40-LM-L

линейныймеханизированный1 ось

Высокоскоростная линейная ось HV / UHV / EUV, перемещение 40 мм, повторяемость 0,4 мкм, нагрузка до 2 кг Вакуум: все области HV / UHV до 10E-11 мбар Смазочная жидкость до 10E-8 / сухая до 10E-11 мбар Макс. Температура выпечки: 120°C Опционально конфигурируется: - Доступны магнитные, слабомагнитные и безмагнитные версии - Выбор материала и вакуумная смазка адаптированы к условиям применения - Возможность объединения с системой быстрого XYZ-переноса (например, LA90, LA95, LA170) - Индивидуальная адаптация к ситуации установки в камере - Версия для чистого помещения ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Опционально с контроллером FMC400/450 Быстрое горизонтальное и вертикальное позиционирование в сверхвысоком вакууме Линейная ось используется в основном для сканирования образцов. Она обеспечивает быстрое позиционирование с чрезвычайно высоким разрешением в сверхвысоком вакууме, в том числе в вертикальном направлении. Она имеет очень узкую конструкцию с внутренними двигателями. Области применения Приложения с высоким разрешением и быстрым сканированием, микросборка, полупроводниковые технологии в сверхвысоком вакууме, вакуумные камеры, исследования, приборы на лучевых линиях, сборка и контроль электроники.