LA97 - Вакуумные линейные этапы и оси
Нанометрическая линейная ступень
HV / UHV до 10E-11, перемещение 100 - 300 мм, повторяемость 0,02 мкм, нагрузка до 10 кг
- Вакуум: все области HV / UHV до 10E-11 мбар
- Смазка: жидкая до 10E-8 мбар / сухая до 10E-11 мбар
- Макс. Температура выпечки: 120°C
Опционально конфигурируется:
- Доступны магнитные, слабомагнитные и безмагнитные версии
- Выбор материала и вакуумная смазка, адаптированные к условиям применения
- Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере
- Версия для чистого помещения ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу)
- Опционально с контроллером FMC400/450
Горизонтальное и вертикальное нанометровое позиционирование
Эта вакуумная линейная ось подходит для всех диапазонов HV / UHV до 10-11 мбар. Она универсальна, так как может также использоваться для задач вертикального позиционирования. Она обеспечивает чрезвычайно высокое разрешение и высочайшую жесткость в вакууме. В зависимости от перемещаемой нагрузки, можно использовать от 2 до 6 двигателей в клещевом расположении.
Области применения
Высокоточные сканирующие приложения, микросборка, полупроводниковые технологии в сверхвысоком вакууме и под ультрафиолетовым излучением, вакуумные камеры, исследования, приборы на лучевых линиях, сборка и контроль электроники
---