Низковакуумная пластина нанопозиционирования LA97 series

линейнаяпьезоэлектрическая1 ось

LA97 - Вакуумные линейные этапы и оси Нанометрическая линейная ступень HV / UHV до 10E-11, перемещение 100 - 300 мм, повторяемость 0,02 мкм, нагрузка до 10 кг - Вакуум: все области HV / UHV до 10E-11 мбар - Смазка: жидкая до 10E-8 мбар / сухая до 10E-11 мбар - Макс. Температура выпечки: 120°C Опционально конфигурируется: - Доступны магнитные, слабомагнитные и безмагнитные версии - Выбор материала и вакуумная смазка, адаптированные к условиям применения - Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере - Версия для чистого помещения ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Опционально с контроллером FMC400/450 Горизонтальное и вертикальное нанометровое позиционирование Эта вакуумная линейная ось подходит для всех диапазонов HV / UHV до 10-11 мбар. Она универсальна, так как может также использоваться для задач вертикального позиционирования. Она обеспечивает чрезвычайно высокое разрешение и высочайшую жесткость в вакууме. В зависимости от перемещаемой нагрузки, можно использовать от 2 до 6 двигателей в клещевом расположении. Области применения Высокоточные сканирующие приложения, микросборка, полупроводниковые технологии в сверхвысоком вакууме и под ультрафиолетовым излучением, вакуумные камеры, исследования, приборы на лучевых линиях, сборка и контроль электроники