Низковакуумный координатный стол LT300 series
линейныймеханизированный1 ось

низковакуумный координатный стол
низковакуумный координатный стол
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Направление
линейный
Тип
механизированный
Количество осей
1 ось
Другие характеристики
высокой точности, низковакуумный, для микроскопов, для высокой нагрузки, со встраиваемым шаговым двигателем, с контроллером, для погрузки/разгрузки полупроводниковых пластин, лабораторный домкрат, с перекрестными роликами
Ход

50 mm, 100 mm
(1,969 in, 3,937 in)

Скорость

5 mm/s

Повторяемость

МИН.: 0,5 µm

МАКС.: 4 µm

Описание

- Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV до 10E-11 мбар - Смазочная жидкость до 10E-8 / сухой до 10E-11 мбар - Макс. Температура выпечки: 120°C - Класс чистого помещения 4 ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Очень долгий срок службы, даже при работе всухую Возможность конфигурирования по выбору: - Поставляется с пьезоразрывом - Выбор материала и вакуумная смазка, адаптированные к условиям применения - Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере - Версия для чистого помещения ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Опционально с контроллером FMC400/450 Стабильность в нанометровом диапазоне даже при высоких нагрузках до 10 кг Линейный столик предназначен для позиционирования грузов с высокой жесткостью в экстремальных условиях, например, в высоком и сверхвысоком вакууме. Оснащенная пьезоэлектрическим тормозом суппорта, эта система позиционирования достигает стабильности в нанометровом диапазоне. Области применения Полупроводниковая технология в сверхвысоком вакууме и при экстремальном ультрафиолетовом излучении, выравнивание пластин, контроль пластин, выравнивание камер, выравнивание датчиков, контроль контактов, выравнивание зеркал, зондирование, вакуумные камеры, исследования, приборы для лучевых линий, сборка и контроль электроники, высокоточное сканирование

---

Каталоги

Для этого товара не доступен ни один каталог.

Посмотреть все каталоги Steinmeyer Mechatronik GmbH

Другие изделия Steinmeyer Mechatronik GmbH

Vacuum linear stages, lifting stages

* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.