- Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV до 10E-11 мбар
- Смазочная жидкость до 10E-8 / сухой до 10E-11 мбар
- Макс. Температура выпечки: 120°C
- Класс чистого помещения 4 ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу)
- Очень долгий срок службы, даже при работе всухую
Возможность конфигурирования по выбору:
- Поставляется с пьезоразрывом
- Выбор материала и вакуумная смазка, адаптированные к условиям применения
- Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере
- Версия для чистого помещения ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу)
- Опционально с контроллером FMC400/450
Стабильность в нанометровом диапазоне даже при высоких нагрузках до 10 кг
Линейный столик предназначен для позиционирования грузов с высокой жесткостью в экстремальных условиях, например, в высоком и сверхвысоком вакууме. Оснащенная пьезоэлектрическим тормозом суппорта, эта система позиционирования достигает стабильности в нанометровом диапазоне.
Области применения
Полупроводниковая технология в сверхвысоком вакууме и при экстремальном ультрафиолетовом излучении, выравнивание пластин, контроль пластин, выравнивание камер, выравнивание датчиков, контроль контактов, выравнивание зеркал, зондирование, вакуумные камеры, исследования, приборы для лучевых линий, сборка и контроль электроники, высокоточное сканирование
---