Линейный координатный стол LA80 series

механизированный1 осьс шариковым винтом

Высокоскоростной линейный каскад HV / UHV / EUV, перемещение 200-500 мм, повторяемость 0,4 мкм, нагрузка 5 кг - Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV до 10E-11 мбар - Смазочная жидкость до 10E-8 / сухая до 10E-11 мбар - Срок службы в километровом диапазоне, несмотря на сухую смазку - Макс. Температура выпечки: 120°C - Поставляется в магнитном исполнении Опционально конфигурируется: - По выбору с измерительной системой и без нее - Выбор материала и вакуумная смазка в зависимости от применения - Может быть объединен с системой быстрого XYZ-переноса (например, LA90, LA95, LA170) - Индивидуальная адаптация к ситуации установки в камере - Варианты исполнения для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Опционально с контроллером FMC400/450 Длительный срок службы, несмотря на сухой режим работы Эта линейная ось используется как мощный компонент многоосевых систем и высокодинамичных систем перемещения. Она обеспечивает быстрое позиционирование с чрезвычайно высоким разрешением в сверхвысоком вакууме, даже в вертикальном направлении. Шарико-винтовая пара обеспечивает высокую жесткость и устойчивость при остановке на высокой скорости. Система не требует жидких смазочных материалов и при этом обеспечивает срок службы в диапазоне многих километров. Области применения Высокоточные системы переноса в сверхвысоком вакууме при экстремальном ультрафиолетовом излучении, производство полупроводников, формирование пучка для процессов облучения, анализ поверхности и позиционирование датчиков, масс-спектрометрия, процессы нанесения OLED-покрытий, измерение толщины и скорости слоя, нанесение покрытий на поверхность (напыление, осаждение из паровой фазы), выходы пучка, экспериментальные установки, массивы датчиков для исследования образцов, близких к их нативному состоянию