Системы позиционирования для погрузки/разгрузки полупроводниковых пластин

Повторяемость: 1,5 µm - 3,5 µm
Нагрузка: 663 g
Ход: 40 mm

... MP95-3 Миниатюрная система позиционирования XYZ, картезианская Настраиваемая: - Идеально подходит для выравнивания компонентов и дополнительных осей - XYZ-перемещение до 40 мм при компактных размерах (145 x 95 x 130 мм) - Очень высокое ...

Повторяемость: 2,3 µm - 4,5 µm
Нагрузка: 4,5 kg
Ход: 50 µm - 50 µm

... MP130-3 Миниатюрная система позиционирования XYZ, картезианская Настраиваемая: - точность до мкм благодаря высокой жесткости - высокая динамика при скоростях до 30 мм/с - Нагрузка до 45 Н - минимальное сопротивление трению благодаря ...

Повторяемость: 5, 10 µm
Нагрузка: 4 kg - 25 kg
Скорость: 0,1 m/s - 10 m/s

... Модуль Z3TM+ расширяет портфель модулей, обслуживающих платформы перемещения. Этот модуль добавляет четыре независимые степени свободы, а именно оси наклона, тета и Z, встроенные в увеличенный полый вал тета. Одна из конфигураций включает ...

Повторяемость: 1,5, 5,5 µm
Ход: 76 mm
Скорость: 50 mm/s

... Максимизация урожайности при минимально возможном пространстве конструкции Эта высокоточная система позиционирования была специально разработана в качестве дополнительного поляризационного фильтра для миниатюризации и автоматизации в ...

Повторяемость: 1,5, 2,5 µm
Ход: 50, 150 mm
Скорость: 25 mm/s

... XY тета-выравнивание масок для УФ-облучения | Высокоточная система позиционирования для облучения пластин в атмосфере сухого азота Прецизионные узлы 786001:002.26 XY тета-выравнивание масок для УФ-облучения | Высокоточная система позиционирования ...

Повторяемость: 1,5, 2,5 µm

... Двойная линейная ось XY для высокоточной настройки линз для вафельных степперов | ультратонкого ультрафиолетового облучения в чистой комнате - Прецизионные узлы Высокоточная регулировка двух оптических элементов Эта высокоточная двойная ...